发明名称 SUBSTRATE HOLDING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01248127(A) 申请公布日期 1989.10.03
申请号 JP19880077263 申请日期 1988.03.30
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 MIYAZAWA WAKAO
分类号 G02F1/13;B65D85/86;G02F1/133;G02F1/1333 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
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