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发明名称 PLASMA CVD APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH01247574(A) 申请公布日期 1989.10.03
申请号 JP19880077557 申请日期 1988.03.30
申请人 NIPPON KOOTEINGU CENTER KK;NIPPON DENSHI KOGYO KK 发明人 KIN MASAKATSU;FUNAKI YOSHIYUKI
分类号 C23C16/50 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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