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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0132368(Y2) 申请公布日期 1989.10.03
申请号 JP19800114328U 申请日期 1980.08.12
申请人 发明人
分类号 H01L29/41;H01L21/3205;H01L21/331;H01L23/52;H01L29/72;H01L29/73;(IPC1-7):H01L29/72;H01L21/88 主分类号 H01L29/41
代理机构 代理人
主权项
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