| 发明名称 |
MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01245529(A) |
申请公布日期 |
1989.09.29 |
| 申请号 |
JP19880071897 |
申请日期 |
1988.03.28 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
SHIGENAKA KEITARO;HATADA MASAHIKO;NARUSE YUJIRO |
| 分类号 |
H01L21/365;H01L31/0264;H01L31/08 |
主分类号 |
H01L21/365 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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