发明名称 FINE-GRAIN DETECTING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH01245131(A) 申请公布日期 1989.09.29
申请号 JP19880074152 申请日期 1988.03.28
申请人 HITACHI ELECTRON ENG CO LTD 发明人 YAMAMOTO HOZUMI;KAWAKAMI YUKIO;HORIE MASATAKE
分类号 G01N15/06;G01N15/14;G01N21/53 主分类号 G01N15/06
代理机构 代理人
主权项
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