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经营范围
发明名称
WAFER CARRIER
摘要
申请公布号
JPH01245537(A)
申请公布日期
1989.09.29
申请号
JP19880071930
申请日期
1988.03.28
申请人
CANON INC
发明人
HOSHI JUNICHI
分类号
H01L21/304;H01L21/673;H01L21/68
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
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