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经营范围
发明名称
LIQUID CRYSTAL DISPLAYER PROBING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01245536(A)
申请公布日期
1989.09.29
申请号
JP19880074036
申请日期
1988.03.28
申请人
TOKYO ELECTRON LTD
发明人
ABE YUICHI
分类号
G01R31/28;G01R1/073;G09F9/00;H01L21/66
主分类号
G01R31/28
代理机构
代理人
主权项
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