发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01245552(A) 申请公布日期 1989.09.29
申请号 JP19880071858 申请日期 1988.03.28
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KATO KOICHI
分类号 H01L27/04;H01L21/205;H01L21/265;H01L21/822 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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