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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01243451(A) 申请公布日期 1989.09.28
申请号 JP19880069428 申请日期 1988.03.25
申请人 HITACHI LTD 发明人 HORIUCHI MITSUAKI
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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