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发明名称 PROCESSING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH01243523(A) 申请公布日期 1989.09.28
申请号 JP19880069550 申请日期 1988.03.25
申请人 HITACHI LTD;HITACHI MICRO COMPUT ENG LTD 发明人 MATSUZAKI SAKAE
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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