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经营范围
发明名称
ION IMPLANTATER
摘要
申请公布号
JPH01243357(A)
申请公布日期
1989.09.28
申请号
JP19880072344
申请日期
1988.03.25
申请人
NEC KYUSHU LTD
发明人
TAKAGI MASAYOSHI
分类号
H01J37/16;H01J37/317;H01L21/265
主分类号
H01J37/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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