| 发明名称 |
X-RAY ALIGNER AND METHOD FOR POSITIONING X-RAY SOURCE OF THE DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01243518(A) |
申请公布日期 |
1989.09.28 |
| 申请号 |
JP19880069779 |
申请日期 |
1988.03.25 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT>;NIKON CORP |
发明人 |
UNE ATSUNOBU;SUZUKI MASANORI;NARAKI TAKESHI |
| 分类号 |
G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
G03F9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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