发明名称 FORMATION OF SEMICONDUCTOR CRYSTAL LAYER
摘要
申请公布号 JPH01243514(A) 申请公布日期 1989.09.28
申请号 JP19880069639 申请日期 1988.03.25
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SASAKI MASAHIRO;KAWAHISA YASUTO;MASHITA MASAO
分类号 H01L21/205;H01L21/263 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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