发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01243438(A) 申请公布日期 1989.09.28
申请号 JP19880071354 申请日期 1988.03.24
申请人 NEC CORP 发明人 MUKOHARA HIROAKI
分类号 H01L21/316;H01L21/318 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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