MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE,申请号JP19880069537-传众专利搜索

发明名称	MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号	JPH01243544(A)	申请公布日期	1989.09.28
申请号	JP19880069537	申请日期	1988.03.25
申请人	HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP	发明人	NISHIMOTO TOSHIAKI;KOMORI KAZUHIRO;SUZUKI NORIO;MOTOYOSHI MAKOTO;HAGA SATORU
分类号	H01L21/3205;H01L21/60	主分类号	H01L21/3205
代理机构		代理人
主权项
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