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发明名称 PLASMA TREATMENT METHOD
摘要
申请公布号 JPH01243429(A) 申请公布日期 1989.09.28
申请号 JP19880071220 申请日期 1988.03.24
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD 发明人 YAMAZAKI SHUNPEI
分类号 H01L21/302;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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