发明名称 ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH01242790(A) 申请公布日期 1989.09.27
申请号 JP19880069421 申请日期 1988.03.25
申请人 HITACHI LTD 发明人 HIRAOKA SUSUMU;SUZUKI KEIZO;NISHIMATSU SHIGERU
分类号 C23F4/00 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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