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经营范围
发明名称
ETCHING METHOD
摘要
申请公布号
JPH01242790(A)
申请公布日期
1989.09.27
申请号
JP19880069421
申请日期
1988.03.25
申请人
HITACHI LTD
发明人
HIRAOKA SUSUMU;SUZUKI KEIZO;NISHIMATSU SHIGERU
分类号
C23F4/00
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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