Cathode sputtering device.

摘要

Um die Zerstäubungsrate in Kathodenzerstäubungsanlagen steigern zu können, werden die Kühlung und die Überwachung des Targets (6) verbessert. Die topfförmige Kathode (1) mit Zuleitung (2) und Ableitung (3) für Kühlflüssigkeit (4) wird an ihrer Oberseite mit einer dünnen Metallfolie (5) aus gut wärmeleitendem Material verschlossen. Unter der Wirkung des Kühlwasserdrucks auf der einen und des Unterdrucks in der Vakuumglocke (0) auf der anderen Seite schmiegt sich die Folie (5) eng an die Unterseite des Targets (6) an. Um zu verhindern, daß bei einer totalen Zerstäubung des Targets (6) die dünne Folie (5) beschädigt wird, ist ein Überwachungssystem vorgesehen. Dies besteht aus einem System von Nuten (7,8) in Target (6) und Kathode (1), die über eine Meßleitung (9) mit Drossel (11) und angeschlossenem Vakuummeßgerät (10) an Hochvakuum (12) angeschlossen sind.