| 发明名称 |
MISSING OR BROKEN WAFER SENSOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0095371(B1) |
申请公布日期 |
1989.09.27 |
| 申请号 |
EP19830302954 |
申请日期 |
1983.05.23 |
| 申请人 |
VARIAN ASSOCIATES, INC. |
发明人 |
VORA, MAHASUKH;MALHOTRA, RAJENDER |
| 分类号 |
H01J37/317;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/956;H01L21/00;H01L21/265;H01L21/66;H01L21/67 |
主分类号 |
H01J37/317 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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