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发明名称 SILICON SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH01242493(A) 申请公布日期 1989.09.27
申请号 JP19880071261 申请日期 1988.03.25
申请人 MITSUBISHI METAL CORP;JAPAN SILICON CO LTD 发明人 YAMASHITA ICHIRO;SHIMANUKI YASUSHI
分类号 C30B29/06;H01L21/322 主分类号 C30B29/06
代理机构 代理人
主权项
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