发明名称 CHARGED PARTICLE APPARATUS
摘要
申请公布号 GB2215907(A) 申请公布日期 1989.09.27
申请号 GB19880015359 申请日期 1988.06.28
申请人 * JEOL LIMITED 发明人 RYUZO * AIHARA;HARUO * KASAHARA
分类号 H01J37/04;H01J37/09 主分类号 H01J37/04
代理机构 代理人
主权项
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