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发明名称 PROBE DEVICE FOR TESTING AND MEASURING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH01241141(A) 申请公布日期 1989.09.26
申请号 JP19880068720 申请日期 1988.03.23
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 MURATA JUN
分类号 G01R31/28;G01R1/073;H01L21/66 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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