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发明名称 CHARGED BEAM DETECTOR
摘要
申请公布号 JPH01241745(A) 申请公布日期 1989.09.26
申请号 JP19880067394 申请日期 1988.03.23
申请人 HITACHI LTD 发明人 SAITO NORIO
分类号 H01J37/09;H01J37/244 主分类号 H01J37/09
代理机构 代理人
主权项
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