发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01240661(A) 申请公布日期 1989.09.26
申请号 JP19880065886 申请日期 1988.03.22
申请人 ASAHI CHEM IND CO LTD 发明人 IKEO TOSHISUKE;NAKAGAWA HIROYUKI
分类号 C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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