| 发明名称 |
DEVICE FOR HEAT-TREATING SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01241819(A) |
申请公布日期 |
1989.09.26 |
| 申请号 |
JP19880070422 |
申请日期 |
1988.03.23 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
IZEKI IZURU;SASAKI KIYOHIRO;KOYAMA YOSHIHIRO;AZUMA AKIHIRO |
| 分类号 |
C23C16/46;C23C16/455;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31 |
主分类号 |
C23C16/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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