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发明名称 MICROWAVE PLASMA DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01241798(A) 申请公布日期 1989.09.26
申请号 JP19880068559 申请日期 1988.03.22
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MUKAI YUJI;TANAKA HIROYOSHI;TSUDA YOSHIYUKI;YASUI HIDEAKI
分类号 H05H1/46;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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