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发明名称
METHOD AND APPARATUS FOR ANALYSIS OF SURFACE
摘要
申请公布号
JPH01240844(A)
申请公布日期
1989.09.26
申请号
JP19880067378
申请日期
1988.03.23
申请人
HITACHI LTD
发明人
HIRAOKA SUSUMU;HAYATA YASUNARI;ONISHI TAKESHI;SUZUKI KEIZO;NISHIMATSU SHIGERU
分类号
G01N23/22;H01J37/252
主分类号
G01N23/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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