| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01241167(A) |
申请公布日期 |
1989.09.26 |
| 申请号 |
JP19880067382 |
申请日期 |
1988.03.23 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TAKEUCHI MIKI;ITO KIYOO;IKENAGA SHINICHI;KUME EIJI;HONMA NORIYUKI;AOKI MASAKAZU;NAKAMURA TORU |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/331;H01L29/08;H01L29/72 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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