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经营范围
发明名称
AUTOMATIC FOCUS CONTROL DEVICE OF SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号
JPH01239742(A)
申请公布日期
1989.09.25
申请号
JP19880064476
申请日期
1988.03.17
申请人
NICHIDENSHI TEKUNIKUSU:KK
发明人
HARAGUCHI AKIHIKO
分类号
H01J37/153;H01J37/21
主分类号
H01J37/153
代理机构
代理人
主权项
地址
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