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发明名称
METHOD FOR LAYING OUT LSI
摘要
申请公布号
JPH01239872(A)
申请公布日期
1989.09.25
申请号
JP19880066831
申请日期
1988.03.19
申请人
ROHM CO LTD
发明人
HIRAGA NORIAKI;ASAI TAKESHI
分类号
H01L21/822;H01L21/82;H01L27/04
主分类号
H01L21/822
代理机构
代理人
主权项
地址
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