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经营范围
发明名称
ETCHING METHOD
摘要
申请公布号
JPH01239935(A)
申请公布日期
1989.09.25
申请号
JP19880068806
申请日期
1988.03.22
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
WAKE SETSUO
分类号
H01L21/302
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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