发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH01239838(A) 申请公布日期 1989.09.25
申请号 JP19880066933 申请日期 1988.03.19
申请人 NIPPON DENSO CO LTD 发明人 GOTO YOSHITAKA;FUJII TETSUO;FUNAHASHI TOMOHIRO;MAEDA HIROSHI;AZEYANAGI SUSUMU;YOSHIHARA SHINJI;SAKAI MINEICHI;KUROYANAGI AKIRA
分类号 H01L21/20;H01L21/263 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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