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经营范围
发明名称
ORGANOMETALLIC CHEMICAL VAPOR-PHASE REACTION APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH01239086(A)
申请公布日期
1989.09.25
申请号
JP19880063405
申请日期
1988.03.18
申请人
MITSUBISHI KASEI CORP
发明人
TAGUCHI TSUNEMASA
分类号
C30B25/02;C30B25/08;C30B25/14;C30B29/40;C30B29/48;H01L21/20;H01L21/205
主分类号
C30B25/02
代理机构
代理人
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