发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01239870(A) 申请公布日期 1989.09.25
申请号 JP19880066229 申请日期 1988.03.21
申请人 AISIN SEIKI CO LTD 发明人 NAGATA NOBUO;NOMOTO SATORU
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
地址