发明名称 MANUFACTURE OF FIELD EFFECT TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH01238065(A) 申请公布日期 1989.09.22
申请号 JP19880066007 申请日期 1988.03.17
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MAEDA ATSUSHI
分类号 H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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