发明名称 TREATING METHOD OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH01238112(A) 申请公布日期 1989.09.22
申请号 JP19880066322 申请日期 1988.03.18
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 WATANABE KANEO;IWAMOTO MASAYUKI;MINAMI KOJI
分类号 H01L21/20;H01L21/205;H01L21/324;H01L31/0248;H01L31/08 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
地址