发明名称 JUNCTION OF SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH01238045(A) 申请公布日期 1989.09.22
申请号 JP19880063330 申请日期 1988.03.18
申请人 HITACHI LTD 发明人 MIYAUCHI AKIHIRO;TANAKA TAKESHI;MOCHIZUKI YASUHIRO
分类号 H01L21/02;H01L21/31 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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