MANUFACTURE OF SILICON CARBIDE SEMICONDUCTOR FILM,申请号JP19880066112-传众专利搜索

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发明名称	MANUFACTURE OF SILICON CARBIDE SEMICONDUCTOR FILM
摘要
申请公布号	JPH01238111(A)	申请公布日期	1989.09.22
申请号	JP19880066112	申请日期	1988.03.18
申请人	FUJITSU LTD	发明人	AOYAMA ATSUYUKI;SUGII TOSHIHIRO
分类号	H01L21/20;H01L21/324	主分类号	H01L21/20
代理机构		代理人
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