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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01238034(A) 申请公布日期 1989.09.22
申请号 JP19880065116 申请日期 1988.03.17
申请人 NEC CORP 发明人 YAMAMORI NOBUAKI
分类号 H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/76 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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