发明名称 DETECTING METHOD OF LEAK SPOT
摘要
申请公布号 JPH01237463(A) 申请公布日期 1989.09.21
申请号 JP19880063129 申请日期 1988.03.18
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 UEKI TAKEMI
分类号 G01R31/26;G01R31/00;G01R31/02;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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