| 摘要 |
Un capteur différentiel de l'accélération à capacité variable comprend une structure en sandwich à trois plaques en silicium (10, 40, 60) empilées. La plaque centrale (10) est montée de sorte que sa partie centrale (12) puisse se déplacer dans une cavité hermétiquement fermée, ses côtés se rapprochant et s'éloignant d'une plaque fixe coopérative qui forme le côté opposé d'un circuit capacitif. La partie centrale (12) ou la masse de la plaque centrale (10) est suspendue par son bord (14) au moyen d'un grand nombre de doigts intégralement formés (18, 20) qui s'étendent du bord jusqu'aux faces supérieure et inférieure de la partie centrale (12). Cette masse centrale (12) comprend une pluralité d'orifices de passage (16) qui laissent passer l'air d'un côté à l'autre et elle peut également être pourvue de rainures afin de faciliter l'écoulement de l'air. La plaque fixe supérieure ou couvercle (40) et la base (60) peuvent elles aussi présenter des rainures (46, 66) pour faciliter le passage de l'air. Dans un autre mode de réalisation, un nombre réduit de doigts plus flexibles (108) permet d'obtenir une structure plus flexible. Une pluralité de butées espacées (48, 68) agencées dans le couvercle et conçues pour empêcher d'éventuels accrochages électrostatiques et pneumatiques. Le procédé de façonnage des parties individuelles est également décrit. |
