发明名称 INNER LEAD BONDING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH01235243(A) 申请公布日期 1989.09.20
申请号 JP19880061112 申请日期 1988.03.15
申请人 NEC CORP 发明人 IKEDA FUMIMARO
分类号 H01L21/60;H01L21/66 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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