发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01235367(A) 申请公布日期 1989.09.20
申请号 JP19880063848 申请日期 1988.03.16
申请人 NEC CORP 发明人 KOBAYASHI DAISAKU
分类号 H01L29/866;H01L21/331;H01L21/78;H01L21/8222;H01L27/06;H01L29/72;H01L29/73;H01L29/732 主分类号 H01L29/866
代理机构 代理人
主权项
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