| 发明名称 | 光学位移测量仪 | ||
| 摘要 | 光学位移测量仪包含一个用作标度尺的可移动的衍射光栅；一个半导体激光器(1)：光检测器(10，11)和能使被上述衍射光栅衍射的两光束互相干涉的装置(2，4，5，6，7)，有了这种装置，就能根据干涉信号的变化检测出上述衍射光栅内的不规则性。激光器的输出具有适当的相干性，能有选择地使具有相同光通路长度的两光束彼此互相干涉。 | ||
| 申请公布号 | CN1005217B | 申请公布日期 | 1989.09.20 |
| 申请号 | CN85102930.2 | 申请日期 | 1985.04.13 |
| 申请人 | 索尼磁尺株式会社 | 发明人 | 谷口佳代子;土谷秀树;外山正明 |
| 分类号 | G01B9/02;G02B11/00;G02B27/44 | 主分类号 | G01B9/02 |
| 代理机构 | 上海专利事务所 | 代理人 | 杨国胜 |
| 主权项 | 1.一种光学位移测量仪，包括一个用作标度尺的可移动的衍射光栅(3)，一个光源(1)，光检测器(10，11)和能使被上述衍射光栅衍射的两束光互相干涉的装置(2、4、5、6、7)，以便根据干涉信号的变化检测出上述衍射光栅中的不规则之处，其特征在于，上述光源部分是一个多模半导体激光器，该器件具有能使两束相同光通路长度的光束有选择地互相干涉的适宜的相干性。 | ||
| 地址 | 日本东京都品川区西五反田3丁目9番17号东洋大厦 | ||