发明名称 PROCESS FOR THE PREPARATION OF SILICON HYDRIDES, USE THEREOF AND APPARATUS FOR CARRYING OUT THE PROCESS
摘要
申请公布号 EP0146456(B1) 申请公布日期 1989.09.20
申请号 EP19840402474 申请日期 1984.12.03
申请人 L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE 发明人 BELOT, DOMINIQUE;RADE, JEAN-YVES;PIFFARD, JEAN-FRANCOIS;LARQUET, CHRISTIAN;CORNUT, PHILIPPE
分类号 G03G5/08;C01B33/04;H01J9/20 主分类号 G03G5/08
代理机构 代理人
主权项
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