发明名称 ETCHING END-POINT JUDGMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH01235336(A) 申请公布日期 1989.09.20
申请号 JP19880060406 申请日期 1988.03.16
申请人 HITACHI LTD 发明人 MOROI TATSUO;TADA KEIJI;MARUMOTO MAKOTO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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