| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR INSPECTING DEFECTS OF SUPERCONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01235842(A) |
申请公布日期 |
1989.09.20 |
| 申请号 |
JP19880061784 |
申请日期 |
1988.03.17 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
TSUKAHARA HIROYUKI;NAKAJIMA MASAHITO;HIZUKA TETSUO;HIRAOKA NORIYUKI;KAKIGI GIICHI |
| 分类号 |
H01L39/00;G01N27/20;G01R31/00 |
主分类号 |
H01L39/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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