发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH01235334(A) 申请公布日期 1989.09.20
申请号 JP19880060439 申请日期 1988.03.16
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 HASHIMOTO KEIICHI
分类号 H01L21/285;H01L21/28 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
地址