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发明名称 THE FABRICATION OF GROOVED SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 EP0201599(B1) 申请公布日期 1989.09.20
申请号 EP19860900681 申请日期 1985.05.16
申请人 AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY 发明人 DAUTREMONT-SMITH, WILLIAM, CROSSLEY;WILT, DANIEL, PAUL
分类号 H01L21/306;H01L21/308;H01L21/316;H01S5/00 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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