发明名称 INSPECTION OF SURFACE DEFECT FOR ELECTRONIC COMPONENT
摘要
申请公布号 JPH01233351(A) 申请公布日期 1989.09.19
申请号 JP19880061688 申请日期 1988.03.14
申请人 MURATA MFG CO LTD 发明人 HIRAMATSU YOICHI
分类号 G01N21/84;G01N21/88;G01N21/93 主分类号 G01N21/84
代理机构 代理人
主权项
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